전계 방사형 주사 전자현미경

전자총으로 발생한 전자선을 시료에 조사하면, 표면으로부터 2차 전자가 발생합니다.그 2차 전자를 검출하는 것으로, 시료 표면의 요철이나 형태를 관찰할 수 있습니다.

고진공 환경에서 관찰을 실시하기 위해, 시료의 상태에 따릅니다만, 몇십만 배의 미소 영역의 관찰이 가능합니다.

시료실은 고진공 때문에 가스가 방출될 가능성이 있는 것(수분을 포함한 것)는 관찰실에 넣을 수 없습니다.또, 시료에 전자선을 대기 위해, 전기를 통하지 않는 시료에 대해서는 표면을 Au(저배율)나 Pt(고배율) 등의 금속으로 얇게 코팅하고 측정할 필요가 있습니다. 시료의 표면은 전기가 흐르는 것으로 발열하기 위해, 열에 약한 시료의 경우에는 표면이 녹거나, 타거나 하는 일이 있습니다.

장치 제품번호: JSM-7800F Prime 일본 전자제
도입 세월: 2017년 2월

그림 1 졸 겔법에 의해 작성한 ITO막
(배율 80000배)

• 시험, 분석 또는 조제에 대해서 특별한 재료, 노력 등을 필요로 하는 것 및 연구 또는 조사의 수수료의 이마는, 실비 상당액으로 한다.
• 특히 기한을 정해 시급한 것의 수수료 또는 사용료의 액수는, 정하는 액수의 2배의 이마로 한다.
• 요코하마 시내에 사무소 또는 사업소를 가지는 사람이고중소기업 기본법 제2조에 있어서 정해진 중소기업(외부 사이트)이외로부터의 의뢰에 관련된 수수료 또는 사용료의 액수는, 정하는 액수의 1.3배의 액수(100엔 미만의 끝수가 있을 때는, 그 끝수 금액을 100엔에 올림한다.)과 한다.
• 요코하마 시내에 주소를 가지지 않는 사람 또는 시내에 사무소 혹은 사업소를 가지지 않는 개인 혹은 법인 및 그 외의 단체로부터의 의뢰에 관련된 수수료 또는 사용료의 이마는, 정하는 액수의 1.5배의 이마(100엔 미만의 끝수가 있을 때는, 그 끝수 금액을 100엔에 올림한다.)과 한다.