에리프소메타

시료에 빛을 쬐면, 시료의 표면으로 반사하고 반사광이 발생합니다.반사광은, p 편광과 s 편광의 2개의 성분으로 나눌 수 있어, 이 편광 상태가 일반적으로 타원(에리프티카르)가 되는 것으로부터, 이러한 측정 방법을 에리프소메트리라고 부르고 있습니다.시료로 대는 빛의 파장을 바꾸고, 그 반사광것 정도 오사쓰 Δ(델타)과 진폭 비 Ψ(프사이)를 측정하는 것에 의해, 시료의 광학 정수나 막후 등의 평가를 실시합니다.

광학 측정이므로 비파괴로 측정이 가능한 데다가, 측정 시간이 짧아서 끝나므로, 할 수 있던 박막의 평가뿐만 아니라, 제작 도중의 박막의 프로세스 평가(In-situ 측정)가 가능합니다. 대는 빛의 파장을 선택하는 것에 의해, 광학 정수나 막후 이외에도, 반사율, 투과율, 밴드 구조의 평가, 캐리어 밀도 등의 평가를 실시하는 것도 가능합니다.

반사광을 측정하므로, 표면의 평탄함이 요구됩니다.대는 빛의 파장의 몇 분의 1이 한계로 여겨지고 있습니다. 또, 빛을 흡수해 버리는 금속 박막도 반사광이 적어지기 때문에, 측정이 곤란해집니다.금속의 종류에도 따릅니다만, 대략 수백 nm의 막후가 측정 한계에 됩니다.복수의 막이 적층하고 있는 경우의 각각의 막후도 측정이 가능합니다만, 이 경우에는 막과 막 사이에 존재하는 계면층 등의 상정이 필요한 경우가 있어, 모델을 세우고 계산 시뮬레이션을 실시할 필요가 있습니다. 그 때문에 계산이 복잡해져, 결과의 해석이 어려워지는 경우가 있습니다.

장치 제품번호: SE-2000 일본 매미 랩 주식회사
도입 세월: 2016년 2월

막후·광학 정수 측정 1 시료 1 측정점이므로 6,400엔

• 시험, 분석 또는 조제에 대해서 특별한 재료, 노력 등을 필요로 하는 것 및 연구 또는 조사의 수수료의 이마는, 실비 상당액으로 한다.
• 특히 기한을 정해 시급한 것의 수수료 또는 사용료의 액수는, 정하는 액수의 2배의 이마로 한다.
• 요코하마 시내에 사무소 혹은 사업소를 가지는 사람이고중소기업 기본법 제2조에 있어서 정해진 중소기업(외부 사이트)이외로부터의 의뢰에 관련된 수수료 또는 시내 사무소 혹은 사업소를 가지지 않는 사람이고, 동조에 정해진 중소기업 이외의 사람으로부터의 의뢰에 관련된 막후·광학 정수 측정에 의한 피막 시험에 관련된 수수료의 이마는, 정하는 액수의 1.3배의 이마(100엔 미만의 끝수가 있을 때는, 그 끝수 금액을 100엔에 올림한다.)과 한다.