전자선 마이쿠로아나라이자

W 필라멘트 또는 CeB6 필라멘트로부터 꺼낸 전자선을 시료에 대면, 시료를 구성하는 원소에 응한 특성 X선이 방출됩니다. 특성 X선을 4 채널 있는 분광 결정에 의해 파장마다 분리하고 계측하고 있습니다.특성 X선은, 원소의 종류에 의해 특정의 파장이기 때문에, 파장과 거기서 얻을 수 있던 피크의 높이에 따라 원소의 종류와 양이 아는 구조입니다.

어떤 1개소의 측정점에서의 원소의 종류가 알 뿐만 아니라, 선이나 면에서의 원소의 분포 상태를 아는 것이 가능합니다. 어떤 장소에 퍼지고 있는 이물의 성분을 원소마다 지도처럼 나타내는 것도 가능합니다. 원소는 원소 주기표의 4번의 Be(베릴륨)에서 90번의 U(우라늄)까지의 폭넓은 원소가 검출할 수 있습니다.

원소의 종류와 그 분포 상황을 알 수 있는 장치이므로, C과 H만으로 구성되어 있는 유기 화합물 등의 분석에 대해서는, 정보량이 적어집니다.또, 시료에 전자선을 대기 위해, 전기를 통하지 않는 시료에 대해서는 표면을 Au나 Pt 등의 금속으로 얇게 코팅하고 측정할 필요가 있습니다. 시료의 표면은 전기가 흐르는 것으로 발열하기 위해, 열에 약한 시료의 경우에는 표면이 녹거나, 타거나 하는 일이 있습니다.

장치 제품번호: EPMA-1720 시마즈 제작소
도입 세월: 2016년 1월

그림 1SEM에 의한 부식 개재물의 관찰상

그림 2도 1과 같은 장소에 대해서 EPMA에 의해 O(산소)의 분포 조사한 이미지(흰 부분은 O가 많은 장소를 나타낸다)

• 시험, 분석 또는 조제에 대해서 특별한 재료, 노력 등을 필요로 하는 것 및 연구 또는 조사의 수수료의 이마는, 실비 상당액으로 한다.
• 특히 기한을 정해 시급한 것의 수수료 또는 사용료의 액수는, 정하는 액수의 2배의 이마로 한다.
• 요코하마 시내에 사무소 또는 사업소를 가지는 사람이고중소기업 기본법 제2조에 있어서 정해진 중소기업(외부 사이트)이외로부터의 의뢰에 관련된 수수료 또는 사용료의 액수는, 정하는 액수의 1.3배의 액수(100엔 미만의 끝수가 있을 때는, 그 끝수 금액을 100엔에 올림한다.)과 한다.
• 요코하마 시내에 주소를 가지지 않는 사람 또는 시내에 사무소 혹은 사업소를 가지지 않는 개인 혹은 법인 및 그 외의 단체로부터의 의뢰에 관련된 수수료 또는 사용료의 이마는, 정하는 액수의 1.5배의 이마(100엔 미만의 끝수가 있을 때는, 그 끝수 금액을 100엔에 올림한다.)과 한다.